リニアエンコーダ

linear encoder

 直線変位や位置を検出するエンコーダ.NC工作機械のクローズドループ制御系,三次元測定機などの位置検出に使用される.ほとんどがインクリメンタル方式で,検出分解能は1~10μm程度が多いが,0.01μm程度の高分解能タイプもある.