メカノサーマルアクチュエータ

　アクチュエータの入力が熱の場合の総称であり，形状記憶合金アクチュエータ，水素吸蔵合金アクチュエータ，熱膨張型アクチュエータ等がある．冷却速度が速いマイクロアクチュエータとしての利用が有利である．