PSD

position sensitive detector

 Si半導体の表面抵抗を利用して,入射した光パターンの図心位置を出力する一種の位置検出素子.半導体表面に光パターンが入射すると,その内部で電荷が発生し,その位置と強度分布に応じて表面抵抗層を伝わり周囲へと流れる.これを,半導体周辺に設けた複数の電極で電流として取出し,それらを演算して,パターンの図心位置を出力する.一次元,二次元のものが製品化されている.