半導体製造工程や電子部品の組立などの工程が微細化，超精密化されるに従って周囲のダストパーティクルの影響が問題となる．ダストパーティクルを少なくした環境をクリーンルームといい，ここで使われるロボットがクリーンルームロボットである．基本的には，潤滑油を必要とする部品を従来のロボットより少なくし，また全体の部品点数を減らしている．現在ではACサーボモータやダイレクトドライブモータを駆動源に用いている．