同一の条件，同一の方法で比較的短時間内で測定対象を繰返し測定したときの測定値のばらつきをいう．通常最大値と最小値の差で表す．特に位置決めを行ったときの対象物の位置測定結果のばらつきを位置繰返し精度といい，測定結果のすべてが含まれる最小の球の直径で与えられる．位置決め目標置との差には無関係である．位置繰返し精度は産業用ロボットのJISで定義されており，30回の測定で定めることとなっている．数値制御工作機のJISで定義されている指令位置と位置決め結果との差である繰返し位置決め精度とは異なる．