圧電材料を用いたアクチュエータは,圧電セラミックスを電極とともに多数積層し,積層方向に大きな縦効果ひずみを発生させる積層型と長さ方向に伸縮する横効果ひずみを利用する圧電板を2枚張合せたバイモルフ型がある.バイモルフ型は力が弱いが発生する屈曲変位が大きい.高分子圧電材料を用いたアクチュエータは力が非常に小さく,利用には限界がある.圧電アクチュエータの電圧とひずみの関係には履歴特性がある.分野によって電歪(わい)アクチュエータと呼ぶこともある.