電子顕微鏡
electron microscope
機械材料・材料加工
電子線を利用して,光学顕微鏡では見ることのできない微細な構造を観察する装置.光学顕微鏡に対比すると,光の代わりに電子線を使い,ガラスレンズの代わりに磁界あるいは電界を利用した電子レンズを用いる.