低温型のα-Si3N4と高温型のβ-Si3N4が存在する．密度3.15～3.2g/cm3．一気圧では，1840～1880℃で分解し，真空中ではより低温から分解蒸発する．焼結体の熱伝導率は0.03cal/cm・s・℃程度と低いが，大気中1300℃でも500MPa程度の強度を有することと熱膨張係数が3.5×10－6/℃とセラミックスとしては小さいことから耐熱衝撃性が高い．