顕微鏡組織や結晶粒など,微小部分の硬さ.顕微鏡を備えた微小硬さ試験機によって測定される.測定荷重は最小0.05N(5gf)程度,圧こんの大きさは最小数μmである.マイクロビッカース硬さが一般的で,表面硬化層や分布組織に適用される.