粗面をレーザ光のような干渉性の高い光で照明すると，粗面の各点で散乱された光がお互いに重ね合さり，スペックルといわれる斑点状の模様が観測される．このとき粗面が変形するとスペックルパターンも変形する．干渉計を用いて得られる変形前後のスペックルパターンを重ねると個々のスペックルの位相変化分布を示す等位相差線が得られる．これをスペックル法という．画像処理装置と組合せたESPI法は実物の等変位線を非接触で実時間で得ることができる．