常圧以下の真空領域で乾燥操作を行う乾燥機．真空下低温にて乾燥されるので熱に弱い材料や酸化しやすい材料の乾燥に適しており，おもに医薬品や食品の分野で用いられている．乾燥装置全体を真空容器の中に収納するか，乾燥室自体を真空容器とすることにより，多くの乾燥方式が使用できる．材料の供給・取出しは回分式，連続式どちらも行われている．昇華によって乾燥が行われる真空凍結乾燥は，通常の真空乾燥とは別に取り扱われている．