電子ビームを物質に照射して化学反応の促進や殺菌等に利用する方法．例えば電子ビームを燃焼排ガスに照射して酸性成分をアルカリ添加剤と反応させ，塩として分離することができる．また医療器具などに照射して殺菌したり，汚泥に照射して殺菌し衛生的なコンポストをつくることなどにも利用できる．