圧電アクチュエータ
Piezoelectric actuator
マイクロ・ナノ
圧電セラミックスの逆圧電効果を用いて,電圧で変位を与える駆動材料.小型かつ高精度でエネルギー変換効率も高い.変位の割合は電界の強さで決まる.