メタルアシスト化学エッチング
Metal assisted chemical etching
マイクロ・ナノ
金属ナノ粒子の存在下でその触媒効果により溶液に浸漬した材料が溶解し高アスペクト比の構造が形成されるエッチングプロセス。ポーラス構造など微細な構造の作製が可能。