ポストエクスポージャーベーク
Post exposure bake
マイクロ・ナノ
フォトリソグラフィーにおいて，露光後に行う熱処理．加熱することで化学増幅型フォトレジストの感光反応を完結させる．頭文字を取ってPEBとも呼ばれる．