フェムト秒レーザはパルス発振レーザに分類され，パルス幅がおよそ100fs（フェムト秒）のレーザに位置づけられる．パルス幅が極端に短いため，極短パルスレーザー，超短パルスレーザーとも呼ばれ，材料加工に応用すれば熱影響の無いナノメートルオーダーの超微細加工ができる．