生体医工学や生命科学の領域に応用したMEMS技術。
バイオセンサ：生体分子や細胞の検出、分析、監視を行うセンサ。例えば、血糖センサやDNAセンサ等。
マイクロ流体デバイス：小型の流路やポンプを使用して微量の生体試料を処理するデバイス。
バイオ医療機器：マイクロスケールの機械構造を使用して、治療や診断を行う医療機器。例えば、生体イン プラントが可能なデバイスや組織工学に関連するデバイス等。
細胞培養プラットフォーム： 生体組織や細胞の培養環境を制御し、生物学的な研究や医学的なアプリケーションに活用。