特定のウェハサイズのみ導入可能な加工装置に，それより小さなウェハを導入する目的で，貼り合わせて使用する搬送用のウェハ，もしくは，クリーニングプロセスなどサンプルを入れずに加工装置動作させるためのウェハ．