ソフトリソグラフィー

Soft lithography

微細なパターンを有する鋳型に、シリコーン樹脂(例えば、ポリジメチルシロキサン、PDMS)等を流し込み、熱や光などを用いて架橋後、離型することで微細パターンを転写した造形物を作製する技術。