===== RIE =====
==== Reactive ion etching ====

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反応性イオンエッチング。プラズマ生成下で反応性ガスを導入し、イオンの衝突により基板表面を除去する加工技術。ドライエッチングに分類される微細加工技術の１つ。

~~NOCACHE~~