====== レーザスクライビング ====== ==== laser scribing ==== {{tag>..c18}}  集積回路に用いられているSi基板や,セラミック基板を各チップごとに分割する方法で,ガラス切りのように基板に欠陥を入れブレーキングにより分割する.パルスレーザを基板表面に照射し,基板厚さの約40%程度の穴あけを連続して行うのが一般的である. ~~NOCACHE~~