====== 反応性イオンビーム加工 ======
==== reactive ion beam processing ====

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　イオン種として反応性ガス（Cl<sub>2</sub>，CF<sub>4</sub>など）を用いたイオンビーム加工．スパッタリングによる除去に加えて，イオンとの化学反応が加わり，除去作用が促進される．


~~NOCACHE~~