====== クライオポンプ ======
==== cryopump ====

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　液体冷却剤やヘリウム冷凍機などで極低温に冷却されたバッフルやパネルに気体分子を凝縮捕獲する装置．分子流域の高真空も実現できる．潤滑油を用いないため清浄な真空が得られる．


~~NOCACHE~~