====== 超純水 ====== ==== ultrapure water ==== {{tag>..c03}}  水中の微粒子,生菌,有機物,電気伝導度を低く抑えた水で,半導体製造工程のシリコンウェハー洗浄,原子力発電所の循環流動水などに用いられる.製造方法はイオン交換法,逆浸透膜法などを組合せて行う. ~~NOCACHE~~