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誘電体バリア放電や，コロナ放電およびナノパルス放電により電流値を制限して絶縁破壊によるアークを形成することなく，その前に放電を停止することで非平衡プラズマを生成する．繰り返し放電を行うことが一般的で，高電圧の電解強度を与えることで電子を加速し，中性粒子に衝突させることでイオンや電子，ラジカルを生成するが，短期間で放電が終わるためエネルギーの緩和が進まない．それらのラジカル生成により化学反応を促進し点火させる．