===== 超臨界成膜 =====
==== Supercritical fluid deposition ====

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超臨界流体を溶媒として基板表面に薄膜を堆積させる成膜技術。一般的に二酸化炭素の超臨界流体が使用されている。可溶性、拡散性に優れており、均一な薄膜形成が求められるところで用いる。

~~NOCACHE~~