====== 化学増幅型フォトレジスト ======
==== Chemically amplified photoresist ====

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触媒反応を利用することで高感度化したフォトレジスト．光酸発生材により感光部に酸を発生させ，次工程のPEBにて酸を拡散させることで，触媒作用によって連鎖的に反応を進行させる．

~~NOCACHE~~