===== 二重層レジスト=====
==== Double layer resist====

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微細なパターン転写に使用され、薄い金属膜のリフトオフプロセスによるパターン形成に用いられる。エッチングレートが低い金属やウェットエッチングプロセスが適用できない場合に用いられる。

~~NOCACHE~~