===== マスクレス露光 =====
==== Maskless exposure ====

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フォトマスクを使用しない露光方法。フォトマスクを使用せずCAD等で作成したパターン情報を基板へ直接露光する方法。設計変更に応じて柔軟に対応できる。

~~NOCACHE~~