===== イオンミリング法=====
==== Ion milling method====

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イオンビームを用いた材料表面を物理的に削り取る加工方法。一般的にアルゴンの高エネルギーイオンにより表面研磨やエッチングを行う。微細なパターン形成や試料断面を作製することができる。

~~NOCACHE~~