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機械工学事典
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RIE
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===== RIE ===== ==== Reactive ion etching ==== {{tag>..c21}} 反応性イオンエッチング。プラズマ生成下で反応性ガスを導入し、イオンの衝突により基板表面を除去する加工技術。ドライエッチングに分類される微細加工技術の1つ。 ~~NOCACHE~~
rie.txt
· 最終更新: 2024/03/15 14:59 by
mnm06
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