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機械工学事典
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CVD
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===== CVD===== ==== Chemical vaper deposition==== {{tag>..c21}} 気相化学反応を利用した成膜技術.反応方法により熱CVD,プラズマCVD等がある.基板を設置した反応路に原料ガスとキャリアガスを導入し,熱やプラズマ等のエネルギーを与えて原料ガスを分解し成膜する.原料にガスを用いることにより,凹凸がある基板にも均質な膜を成膜できるという特徴がある. ~~NOCACHE~~
cvd.txt
· 最終更新: 2025/02/10 13:49 by
mnm08
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