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機械工学事典
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静電吸着
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===== 静電吸着 ===== ==== Stiction==== {{tag>..c21}} 微小構造体が表面と密着して粘着する現象。MEMSデバイスの動作不良の原因となることがある。 ~~NOCACHE~~
静電吸着.txt
· 最終更新: 2024/03/18 12:47 by
mnm03
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