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| 静電吸着 [2024/03/18 12:45] – [Stiction] mnm03 | 静電吸着 [2024/03/18 12:47] (現在) – [Stiction] mnm03 | ||
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| + | ===== 静電吸着 ===== | ||
| ==== Stiction==== | ==== Stiction==== | ||
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| 微小構造体が表面と密着して粘着する現象。MEMSデバイスの動作不良の原因となることがある。 | 微小構造体が表面と密着して粘着する現象。MEMSデバイスの動作不良の原因となることがある。 | ||
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