高速に加速された電子の持つ運動エネルギーを利用した加工法である．加速電圧は，一般に10～300kV（キュアリングなどでは，3000kVを用いることもある）である．このエネルギーを熱として用いる熱加工と，電子が材料中に侵入した際に生ずる分子，原子の励起，電離作用による化学作用を利用する非熱加工がある．熱加工は，電子ビーム穴あけなどの除去（ほかに切断，トリミングなど)，溶接（300mmの厚板の溶接も可能である)，表面改質（焼入れ，溶融処理，アニーリング，蒸着)，電子ビーム溶解による精製，溶解した物質を飛散させることによる粉末粒子の製造などがある．非熱加工は，リソグラフィー，キュアリングである．電子ビーム加工は一般には真空中で行う（キュアリングでは大気中へビームを取出す．また，熱加工でも，大気中へビームを取出す方式もある）ため，加工材料の汚染はなく，クリーンな加工ができる．電子ビームは，電磁界によって，強度（ビーム電流値)，エネルギ一（加速電圧)，軌道を容易に制御できる．それゆえ，加工条件，加工位置決めの自動化が容易である，X線の発生などの問題点もあるが，生産プロセスにとって重要な加工技術である．