中国四国支部講演会案内
中国四国支部 特別講演会
フェムト秒レーザー加工のナノテクノロジーへの展開
開催日時
2003年11月14日(金)13:00〜14:00
会 場
徳島大学工学部共通講義棟K203教室
[徳島市南常三島町2-1/電話(088)656-7364]
講 師
北海道大学電子科学研究所 教授 三澤弘明
趣 旨
レーザー加工は、様々な材料の切断、孔あけ加工、溶接、表面処理など、幅広く活用されており、今日の産業を支える重要な基盤技術の一つとなっている。しかし、従来の
レーザー加工は、光エネルギーが熱エネルギーに変換され材料加工が進むため、熱による加工部周辺の変質、形状変化は本質的に避けられず、ナノメーター次元の超微細
加工に適用することは困難であると考えられてきた。
しかし、1990年代に開発が急速に進展したフェムト秒(10-15秒)パルスレーザーの出現により、このような状況は一変した。フェムト秒レーザーパルスは極めて短い時間内
に多数の光子を有しており、これを空間的にも絞り込んで材料に照射すると、高エネルギー状態の電子が熱緩和する前に加工が進行するため、加工部周辺に熱的損傷が
ほとんど観測されない優れた特性が現れる。さらに、このような時間的・空間的高光子密度状態と材料との相互作用により観測される多光子吸収を用いて、透明材料内部を
ナノメーターオーダーで3次元的に加工することも可能となった。
本講演会では、我々が進める様々な材料のフェムト秒レーザー加工について述べるとともに、最近開発したフェムト秒レーザーによる多光子多光束干渉法によるナノ周期
構造の作製についても紹介する。
定 員
70名
参 加 料
無料
申込方法
「特別講演会(徳島)申込み」と題記し、(1)氏名、(2)勤務先名称、所属部課名、(3)通信先(住所、電話、FAX番号、E-mailアドレス)をご記入の上、はがき、FAXまたは
E-mailでお申し込みください。
申込締切
2003年11月7日(金)
問合せ先
〒739-8527 東広島市鏡山1-4-1/広島大学工学部第一類内/日本機械学会中国四国支部/電話&FAX( 0824)24-7533/E-mail jsme@mec.hiroshima-u.ac.jp