「マイクロ流体デバイス試作実習会」
定員に達しましたので申し込みを終了いたしました。
多数のお申込み有難うございました。
【開催日】
2016年9月9日(金) 9.45～16.00
【趣旨】
マイクロ加工によるデバイス作りを経験いただくために、マイクロ流体デバイスを例として、試作実習会を開催いたします。複数ユーザーが１枚のウェハ上に一定ルールに基づき、自ら設計したデバイスの作成を実際に体験いただきます。出来上がったデバイスは、そのままお持ち帰りいただけます。是非ご参加下さいますようお願い申し上げます。
【実習機器】
レーザー直接描画装置（Heidelberg Instruments社製DWL66FS）他
【実習内容】
・レーザー直接描画装置を用いたマスク作成、レジストによる型作成、樹脂への転写成型、出来上がったデバイスの形状観察および機能評価
・デバイスのデザインとしては、既成（東京地下鉄路線網のマイクロ流路、分析用マイクロ流路、Y字型マイクロ流路）のものから選択、あるいは事前に提出いただいた流路デザインの何れかを選択。
【定員】
10名程度
【講師】
ＮＡＮＯＢＩＣ研究員他